低溫真空蒸發工藝是蒸發行業中常見的廢水處理工藝，對廢水進進行低溫蒸發，節能降耗，具有三大公能：回用水、回收資源、濃縮廢液。
　　廢水低溫真空蒸發工藝采用低溫真空蒸發工藝，通過真空泵使蒸發室的真空壓力達到低溫真空的壓力狀態，使水在30℃~40℃的溫度下沸騰，使溶液濃縮液可以處理成干燥的粉末狀態，盡可能地減少危廢液體的處理。
　　低溫真空蒸發工藝尤其適用熱敏性料液。傳統的低溫蒸發濃縮方法一般采用真空蒸發，即利用真空下料液沸點降低的原理，使料液在適當的真空度下、在低于100℃的溫度下沸騰，將料液的濃度提高，獲得滿足零排放工藝要求的濃縮料液。
　　但真空蒸發方法需配備抽真空設備，蒸發濃縮系統本身也要有較好的承壓性和密封性，因此，系統的設計、制造、安裝及操作要求均較高，系統的初投資和運行費用也較高。
　　廢水低溫真空蒸發工藝比較適用于化工行業、金屬礦業的冶煉、電廠濕法脫硫廢液的處理，也可以用于氯化鈉、硫酸鈉、氯化銨、甘氨酸、氯化鋇、硫酸鋅、氯化鈣、氫氧化鈉的蒸發結晶。